半導體工業VOCs廢氣治理方案 - 公司新聞 - 揚州岱發環?？萍加邢薰?/title> <meta name="keywords" content=""> <meta name="description" content="今天，我想和大家分享半導體行業VOCs廢氣治理的解決方案。半導體工業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機化合物 ">  <link href="/mycms/templates/css/reset.css" rel="stylesheet"> <link href="/mycms/templates/css/5dbb907fe4b0f1c5208a143c.css" rel="stylesheet"> <link rel="stylesheet" type="text/css" href="/mycms/templates/css/main.css"> <meta http-equiv="Cache-Control" content="no-transform" /> <meta http-equiv="Cache-Control" content="no-siteapp" /> </head> <body style="font-family:微軟雅黑"> <div style="position:fixed;left:-9000px;top:-9000px;"><th id="tm5y9"></th><rp id="tm5y9"><big id="tm5y9"></big></rp><em id="tm5y9"><bdo id="tm5y9"><ruby id="tm5y9"><noframes id="tm5y9"></noframes></ruby></bdo></em><tr id="tm5y9"></tr><delect id="tm5y9"><menuitem id="tm5y9"></menuitem></delect><ol id="tm5y9"><table id="tm5y9"><cite id="tm5y9"></cite></table></ol><tr id="tm5y9"></tr><button id="tm5y9"><del id="tm5y9"><dfn id="tm5y9"><td 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半導體工業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機化合物。這個過程中，這些有機溶劑大多揮發成廢氣。<br /> 目前，這類氣體排放一般采用吸附、焚燒或兩種方法相結合的方式。吸附是利用多孔固體吸附劑對混合氣體進行處理，使其所含的一種或多種組分吸附固體表面，達到分離的目的。該吸附劑具有高選擇性，能分離其它工藝中難以分離的混合物，有效去除（或回收）濃度低、凈化效率高、設備簡單、操作方便、可實現自動控制的有害物質。<br /> 但固體吸附劑吸附量小，需要大量吸附劑，設備龐大，吸附后需要再生吸附劑。半導體生產現場揮發的有機廢氣經就地排風罩收集后，通過管道送至吸附凈化系統?；钚蕴恳话阌米魑絼?。由于活性炭是一種非極性吸附劑，其對廢氣中水蒸氣的敏感性不高，價格低廉。焚燒法也廣泛應用于半導體工業中各種有機廢氣的處理，通過將有機物熱氧化成二氧化碳和水。同時，焚燒也是一種流量穩定、濃度穩定的廢氣處理方法。熱氧化中，氣相中的有機化合物通過加熱有機廢氣而被氧化。為了節省燃料，通常采用換熱器回收焚燒產生的熱量并對進氣進行預熱。這種方法通常用于處理大流量、低濃度氣體。半導體工業廢氣焚燒會產生二氧化硅，而二氧化硅會鈍化催化劑，接觸氧化法半導體工業中很少使用。<br /> 一些半導體工廠也使用旋轉濃縮系統來濃縮有機廢氣，例如沸石濃縮轉輪。由于半導體工藝中有機廢氣排放量大（通常大于11039m3/h）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，采用其他處理技術很難達到滿意的處理效果。沸石濃縮轉輪使用帶內部吸收器的旋轉輪，其中吸收器部分暴露廢氣流中。流道吸收廢氣中的揮發性污染物，并用蒸汽或熱量將其解吸。解吸氣流中富集了高濃度的揮發分，低流速、高濃度氣流中可以很好地氧化。半導體工業中使用的旋轉濃縮系統的一個缺點是對甲醇的親合性差，去除率僅為40-60%。<br /> 綜上所述，廢氣處理方面，半導體行業的酸堿廢氣一般采用相應的堿溶液吸收法和酸溶液吸收法進行處理，工藝方法非常成熟。只要對相關工藝參數進行適當優化，使之符合本標準的要求，就應重視有機廢氣的處理。目前有吸附法、吸附法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附法，凈化效果好，但運行成本高；吸附法適用于低溫、中、高濃縮廢氣；直接燃燒法適用于高濃度、小風量廢氣處理；冷凝法適用于成分相單一、濃度高、有一定回收價值的有機廢氣。對于半導體工業中濃度低、風量大、成分復雜的有機廢氣，吸附法、吸附法、燃燒法、冷凝法不適用，吸附催化燃燒法更適合。目前，省內一些大型半導體企業已采用沸石轉輪濃縮燃燒。該方法適用于大風量、低濃度、常溫有機廢氣的處理。凈化效率達90%以上，濃縮比為20:1。運行成本低，設備風量大，占地面積小。不產生二次污染，可連續解吸處理。根據企業實際運行情況，當有機廢氣入口濃度大于200mg/m3時，處理效率可達95%；當有機廢氣濃度低于200mg/m3時，處理后濃度控制20mg/m3，可保證廢氣達標排放。<br /> 通過以上介紹，您對半導體行業的VOCs處理有更深入的了解嗎？我希望它能幫助你。如果您想了解更多有關廢氣處理的知識，歡迎您關注。<br /> 揚州市是一家集環保工程規劃、環保設備設計、設備制造、工程施工及售后服務為一體的專業環保公司。創始人專注于工業廢氣處理行業20年，擁有豐富的工程實踐經驗和雄厚的技術實力。從客戶咨詢到現場調研、評估、規劃設計、產品生產、現場安裝、售后服務，建立了有效的管理體系。根據廢氣污染物的性質和排放特點，選擇不同的處理工藝，設計自己的方案和方案圖紙及清單。實現一廠一方案，幫助企業解決廢氣處理問題。<br /> <br /> 　　以上<a href="http://www.theparsonagefamily.com"><span style="color:#E53333;"><strong>廢氣焚燒爐</strong></span></a>內容來自岱發環保，轉載請注明。 </div> <div class="clear"></div> </div> <div class="p14-info-3 blk"> <h3 class="p14-info-3-tit"> 【相關推薦】 </h3> <div 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蓄熱式焚燒爐</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/jtbzg/" title="RCO蓄熱式有機廢氣催化凈化設備">RCO蓄熱式有機廢氣催化凈化設備</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/qclsb/" title="沸石轉輪濃縮裝置">沸石轉輪濃縮裝置</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/m2/" title="活性炭吸附催化一體化">活性炭吸附催化一體化</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/p8/" title="有機廢氣催化凈化設備">有機廢氣催化凈化設備</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/zhd/" title="熱風爐">熱風爐</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/m5/" title="有機廢氣焚燒爐">有機廢氣焚燒爐</a></li> </ul> </li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/news/" title="新聞資訊">新聞資訊</a> <ul class="f_ul02"> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/news1/" title="公司新聞">公司新聞</a></li> <li><a href="http://www.theparsonagefamily.com/hyzx/" title="行業資訊">行業資訊</a></li> </ul> </li> </ul> </div> <div class="f_ban fl"> <div class="f_top"> <b>公司地址：</b>高郵市漢留工業園 </div> <p>備案號：<a target="_blank" rel="nofollow">蘇ICP備20047297號-1</a></p> 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