1、 半導體廢氣處理組件
半導體工業廢氣的主要成分是有機廢氣和酸堿廢氣。有機成分:非甲烷碳氫化合物、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿成分:氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。
2、 工業排放標準
3、 半導體廢氣處理方法
一般半導體行業廢氣處理的解決方案如下:
(1) 預處理階段:采用噴淋塔對廢水進行預處理,去除粉塵和溶于水的有害氣體。
(2) 主要處理階段:這一階段,較為常用和有效的方法有:紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。
由于各企業產生的廢氣成分、風量、濃度不同,所采用的半導體廢氣處理方法也會有所不同或需要多種方法的組合。具體治療方案請咨詢我們。我們將有工程師為您制定一對一的治療方案。
以上
RTO焚燒爐內容來自岱發環保,轉載請注明。