今天,小編將繼續為大家介紹光電產品制造業產生廢氣污染的五大類產品的制造工藝:半導體集成電路、TFT-LCD、led、印刷電路板(PCB)和電子終端產品。這些也是我們廢氣處理中經常遇到的問題。
① 半導體集成電路制造過程中VOCs的排放主要來源于光刻和顯影過程。這些過程中,使用有機溶液(如異丙醇)清潔晶圓表面,揮發的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時,光刻工藝中使用的光刻膠(photoresist)中含有揮發性有機溶劑,如乙酸丁酯等,晶圓加工過程中產生的有機廢氣也揮發成氣體。
(2) TFT-LCD生產過程中VOCs的排放包括檢測和測試。TFT-LCD的制造工藝可達到100多道工序。生產過程中使用了多種化學有機溶劑和特殊氣體,產生了大量的VOCs和復雜的組分。TFT-LCD面板生產過程中VOCs的排放主要集中陣列工程和彩色薄膜工程。陣列工程中的光刻(膠合、曝光和顯影)和黑色矩形BM膜制造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍、RGB)、保護膜形成、MVA膜、彩色膜工程中的PS(光間隔)膜形成是VOCs產生的主要來源。TFT-LCD生產過程中產生的VOCs主要是異丙醇,其次是丙酮、單甲醚丙二醇和單甲醚丙二醇醋酸酯,占VOCs總量的90%以上。
③ LED電子元器件生產過程中VOCs的排放LED電子元器件生產過程中產生的VOCs污染物主要來自基板處理和光刻。LED生產過程中產生的VOC種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚、異丙醇、丙酮、丁酮等。
④ PCB生產過程中,單面、雙面和多面PCB生產過程都會產生VOCs。VOCs的加工環節比較集中,主要來自貼膜、干燥、印刷等行業。揮發性有機化合物的排放類型主要包括甲醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(丁酮)和酯類。貯存過程中會產生一些揮發性有機物,乙酸乙酯的產生和排放是揮發性有機物的主要來源。
⑤ 電子終端產品制造過程中VOCs的排放電子終端產品制造過程中,VOCs的主要來源包括電路板清洗劑(采用有機溶劑型清洗劑)的有機廢氣、電路板三層防噴漆廢氣、,機器(底盤)噴漆廢氣、底盤注塑廢氣。這些廢氣來自站場局部排氣系統,具有排氣量大、濃度低的特點。
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